半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统

摘要

本发明公开了一种半导体激光器注入电流调频无机械飞点扫描干涉系统，特点是，它包括：注入式半导体激光器、聚焦镜、消色差物镜、编码光栅、柱面反射镜、分光棱镜、光电位置检测器、分析电路、微处理器、高速CCD器件和迈克尔逊干涉仪、其测量臂直接射于被测区域，参考臂为标准平面、阶梯平面或装校样板，本发明的优点是，利用注入式半导体激光器的调频特性，加入编码光栅后，改变注入电流的大小即可实现无机械扫描。采用光电位置探测器，可以精确计算注入电流变化与光点位移变化的关系，使利用注入式半导体激光器非线性调频区域进行检测成为了现实，大大增加了调制宽度。利用此方法，也可确定某一注入电流大小下，输出光频的大小。