公开/公告号CN109407469B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201710714211.5
申请日2017-08-18
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 11:22:06
机译: 像差补偿装置以及使用该像差补偿装置的光学头和信息再现/记录设备
机译: 波前像差补偿装置,波前像差补偿装置和光头
机译: 可补偿球面像差的优化操作的球面像差补偿装置及其方法