步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法

摘要

一种步进扫描投影光刻机中杂散光的原位检测方法。通过四个狭缝刀口的准确定位在物面(即掩模面)上限定一个光斑并通过投影物镜成像在工件台上，能量传感器测得光斑像中心处光强为I₀，依次完成M×N个光斑的测量，然后狭缝打开，测量上述测量点光强为I₁，杂散光系数由公式(I₁-I₀)/I₀计算；若所测量得到的杂散光系数超出曝光系统要求的指标，分析杂散光来源：利用特制掩模与四个狭缝刀口中的两个狭缝刀口共同限定一光斑，此光斑经投影物镜成像，能量传感器测量像光斑内的光强分布，根据测得的光强分布分析杂散光是来自照明系统还是投影物镜。它解决现有方法均只能测量杂散光的大小，不能区分杂散光来源的技术问题，为采取消除杂散光措施提供了有效依据。