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公开/公告号CN107111241B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-17
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201580068983.5
发明设计人 M.阿恩茨;S.布雷迪斯特尔;T.格鲁纳;J.哈杰斯;M.施瓦布;
申请日2015-12-16
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人王蕊瑞
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 11:21:32
机译: 具有波前测量装置和光学波前操纵器的投射曝光设备
机译: 具有波前测量装置和光学波前操纵器的投影曝光设备
机译: 带有波前测量装置和光学波前操纵器的投影曝光装置
机译:高速波前像差测量装置Shack-Hartmann方法:高速波前传感器/光学透镜传输波前测量装置
机译:具有任意波前的几何相位光学元件的单曝光制造
机译:自适应光学光学波前传感器以纳米分辨率对波前进行采样
机译:具有波前倾斜方案的时间分辨光学泵-THz椭圆探针测量
机译:利用Shack-Hartmann波前传感测量和建模眼内光散射,以及核白内障对波前误差的测量。
机译:配备光学相干层析成像的波前系统测量被检眼中波前像差和晶状体变形
机译:一个Shack-Hartmann波前传感器投射到天空上,具有减小的焦距各向异性。
机译:使用具有200纳秒时间分辨率的集成光学传感器测量脉冲染料激光器的波前