基于冗余光路的微尺度透明体离焦距离测量装置及方法

摘要

本发明公开了基于冗余光路的微尺度透明体离焦距离测量装置及方法，涉及微尺度透明体测试技术领域。本发明提供一种通过冗余光路以获取四种不同离焦程度下的相位体图像并根据这些图像计算SPEC参数以确定相位体相对于成像系统物镜在光轴方向上的位置的方法，实现透明相位体三维空间位置的实时测量。本发明通过在光路中增加冗余光路，无需采用光路的机械运动来实现光路的调节，提升系统的稳定性。采用直接计算方式，不需要迭代优化过程，计算过程简单。冗余光路同时工作可实现实时图像获取与处理，可用于相位体运动分析中。