紧凑型瞬态多波长移相干涉装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种紧凑型瞬态多波长移相干涉装置及其测量方法，包括RGB三色激光器、单模光纤、光纤准直器、扩束系统、偏振片、分光棱镜、四分之一波片、成像镜头、彩色偏振相机、偏振分光棱镜、参考镜、标准透镜和被测物；单模光纤的一端与RGB三色激光器相连，单模光纤的另一端与光纤准直器相连：本发明利用彩色偏振相机瞬时获得RGB三个颜色激光分别对应的4幅相位差为90°的移相干涉图，采用四步移相算法获得三个激光波长对应的瞬态相位分布，利用多波长技术测得大动态范围的面形。本发明的有益效果为：结构紧凑，测量速度快，具有很强的抗干扰能力，采取的瞬态多波长干涉技术动态测量范围大，测量精度高。