鲁棒石墨烯量子霍尔器件及其制备方法

摘要

本公开提供一种鲁棒石墨烯量子霍尔器件及其制备方法，该鲁棒石墨烯量子霍尔器件包括：衬底、石墨烯层以及电极；衬底由下至上依次包括：第一绝缘层、二维电子气以及第二绝缘层；石墨烯层形成于第二绝缘层的上方；电极形成于第二绝缘层的上方且与石墨烯层接触。本公开提供的鲁棒石墨烯量子霍尔器件及其制备方法制备出的器件结构简单，所需调控电压极低。与传统量子霍尔器件相比，无论在生产成本、运行环境要求、功耗方面都占据了明显优势。