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一种具有聚光功能的亚太赫兹波探测器

摘要

本发明涉及一种具有聚光功能的亚太赫兹波探测器,包括衬底层,衬底层上方设置有引线电极以及对数周期天线,衬底层的上表设置有对称的两个斜面,对数周期天线的两臂分别至于斜面上,并且对数周期天线的两臂与对应的引线电极电连接,对数周期天线的两臂通过石墨烯导电层形成导电沟道;对数周期天线的上方设置有介质层,介质层上设置有劈裂栅极,以及与劈裂栅极电连接的引线电极;该具有聚光功能的亚太赫兹波探测器,通过将对数周期天线倾斜设置,能够将入射的未被吸收的光波反射到劈裂栅极,经过劈裂栅极再次反射后,入射到石墨烯导电层,使得石墨烯导电层能够吸收更多的光波,能够将更多的光波转化为热能,提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。

著录项

  • 公开/公告号CN109830547B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 温州益蓉机械有限公司;

    申请/专利号CN201910162516.9

  • 发明设计人 不公告发明人;

    申请日2019-03-05

  • 分类号H01L31/0232(20140101);H01L31/113(20060101);G01J1/42(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 325000 浙江省温州市鹿城区府东路上堡公寓10幢1604室-2

  • 入库时间 2022-08-23 11:18:54

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