公开/公告号CN109830547B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 温州益蓉机械有限公司;
申请/专利号CN201910162516.9
发明设计人 不公告发明人;
申请日2019-03-05
分类号H01L31/0232(20140101);H01L31/113(20060101);G01J1/42(20060101);
代理机构
代理人
地址 325000 浙江省温州市鹿城区府东路上堡公寓10幢1604室-2
入库时间 2022-08-23 11:18:54
机译: 使用太赫兹波贝塞尔光束的高分辨率太赫兹波聚光模块,散射光检测模块和高分辨率检查设备
机译: 毫秒波和亚太赫兹频段越高级别多个输入多输出增强
机译: 毫秒波和亚太赫兹频段越高级别多个输入多输出增强