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减少拉锭机排气系统中的沉积物的方法

摘要

公开了涉及减少拉晶机排气系统上的硅沉积物形成的在拉晶机中的硅锭生产。

著录项

  • 公开/公告号CN107849729B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 各星有限公司;

    申请/专利号CN201680038769.X

  • 发明设计人 T·N·斯瓦米纳坦;J·陈;

    申请日2016-07-15

  • 分类号C30B15/00(20060101);C30B15/02(20060101);C30B29/06(20060101);C30B27/02(20060101);

  • 代理机构32224 南京纵横知识产权代理有限公司;

  • 代理人俞翠华

  • 地址 中国香港九龙柯士甸道西1号环球贸易广场17楼1703B-1706

  • 入库时间 2022-08-23 11:16:57

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