公开/公告号CN100409444C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海硅酸盐研究所;
申请/专利号CN200510027549.0
申请日2005-07-06
分类号H01L27/105(20060101);H01L21/8239(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市定西路1295号
入库时间 2022-08-23 09:00:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/105 授权公告日:20080806 终止日期:20150706 申请日:20050706
专利权的终止
2008-08-06
授权
授权
2006-04-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-02-22
公开
公开
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