一种含硅有机-无机杂化分子及其合成、组装和应用

摘要

本发明公布了一种含硅有机‑无机杂化分子及其合成、组装和应用。所述有机‑无机杂化分子是以六苯并蔻(HBC)为核，通过共价键将笼型倍半硅氧烷(POSS)连接在其周围形成的具有较大分子量的HBC‑POSS分子。这类分子具有两种纳米尺寸的构筑单元，能够自组装形成尺寸在10nm以下的有序结构，通过氧等离子体刻蚀，可以得到10nm以下的纳米模板，为解决用于半导体工业的纳米模板尺寸的瓶颈提供新的可能。