一种空间电荷密度测量装置

摘要

本发明设计了一种空间电荷密度测量装置，本发明的技术方案综合了离子计数法以及电荷筛选法各自的优点，可在测量装置参数要求低、尺寸小的前提下，实现宽粒径范围电荷密度的精确测量。所述装置包括屏蔽层、绝缘层、离子计数法传感器、电荷筛选法传感器、流量计、离子计数法偏压电源、负离子微弱电流测量模块、正离子微弱电流测量模块、电荷测量模块、测量结果处理模块和气体吸入装置。