用于体内使用的电子和光电设备的柔性的气密性电互连件

摘要

一种电子设备，所述电子设备可以包括：第一电子模块；第二电子模块；以及用于对它们进行气密性耦合的气密性电互连件。所述气密性电互连件可以包括：底部金属层；底部绝缘层，所述底部绝缘层沉积在所述底部金属层上以使所述底部金属层绝缘；互连金属层，所述互连金属层沉积在底部绝缘层上并且沉积以形成底部密封环；并且所述互连金属层被图案化以形成接触垫之间的电气连接件并形成中间密封环；图案化的顶部绝缘层，所述图案化的顶部绝缘层沉积在所述互连金属层上以使所述互连金属层绝缘；并且所述图案化的顶部绝缘层被图案化以形成馈通孔；以及顶部金属层，所述顶部金属层沉积在所述顶部绝缘层上以通过填充所述馈通孔而开始形成触点；并且所述顶部金属层被图案化以通过所述馈通孔完成触点的形成、形成单独的阻挡层、并且完成所述顶部密封环的形成。