一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法。该多层复合类金刚石薄膜通过掺杂Ti含氢非晶碳和无掺杂含氢非晶碳周期性按比例交替沉积获得。本发明制备的Ti‑DLC/α‑C:H薄膜具有高结合强度、高韧性、优良的减摩耐磨性，涂覆于切削刀具加工玻璃纤维增强复合材料可使得刀具寿命提高2倍，且相对传统单层类金刚石涂层刀具寿命可提高48％。本发明制备工艺先进、生产效率高、成本低，易于工业化生产，具有推广价值。