公开/公告号CN110133032B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-04
原文格式PDF
申请/专利权人 上海精测半导体技术有限公司;
申请/专利号CN201910494648.1
发明设计人 张旭;
申请日2019-06-10
分类号G01N23/2251(20180101);
代理机构32351 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人储振
地址 201700 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
入库时间 2022-08-23 11:12:47
机译: 用于检测或收集二次电子的设备,包括该设备的带电粒子束曝光设备以及相关方法
机译: 用于检测二次电子束图像的方法及其设备以及使用聚焦带电粒子束进行处理的方法及其设备
机译: 利用多个平行带电粒子束和多个二次电子检测器阵列的高通量样本检查设备和方法