多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法

摘要

描述一种电磁电动机，该电磁电动机包括：磁体组件，被配置为生成在第一方向上具有节距Pm1并且在第二方向上具有节距Pm2的二维交变磁场；线圈组件，被配置为与磁体组件协作以在第一方向上生成第一力并且在第二方向上生成第二力，其中线圈组件包括第一线圈组和第二线圈组，第一线圈组包括用于生成第一力的多个第一线圈，第二线圈组包括用于生成第二力的多个第二线圈，其中第一线圈组中在第一方向上的线圈节距Pc1与Pm1的比率R1不同于第二线圈组中在第二方向上的线圈节距Pc2与Pm2的比率R2。