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两个波导之间的接合区域以及相关制造方法

摘要

光子集成装置包括至少第一波导(G1)和第二波导(G2),两个波导由包括突节(R)的接合区域(JCN)相互耦合。

著录项

  • 公开/公告号CN107564907B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 意法半导体(克洛尔2)公司;

    申请/专利号CN201611084290.8

  • 发明设计人 C·鲍多特;

    申请日2016-11-30

  • 分类号H01L27/04(20060101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华;张宁

  • 地址 法国克洛尔

  • 入库时间 2022-08-23 11:11:53

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