X-ray探测器阵列基板及其制作方法、X-ray探测器

摘要

本发明提供了一种X‑ray探测器阵列基板及其制作方法、X‑ray探测器，涉及探测器技术领域，能够有效避免过刻问题。该阵列基板的制作方法包括：在衬底基板上形成薄膜晶体管以及接收电极；形成第一钝化层；形成第一过孔和第二过孔；形成光电转换层；对光电转换层进行刻蚀，保留第二过孔对应区域的光电转换层，保留第一过孔中的光电转换层中的部分膜层；对树脂层和第二钝化层进行刻蚀，在第一过孔对应区域形成过孔露出第一过孔中的光电转换层中的部分膜层，在第一导电层上的树脂层和第二钝化层上形成过孔，露出第一导电层。该阵列基板的制作方法主要用于X‑ray探测器的制造过程中避免过刻问题。