一种负载分布非均匀的声表面波传感器响应的计算方法

摘要

本发明公开了一种负载分布非均匀的声表面波传感器响应的计算方法，所述方法包括：沿SAW传播方向将SAW传感器敏感区域划分为N部分；沿声孔径方向将SAW传感器划分为M个通道；由此将SAW传感器敏感区域划分为M×N个单元；对SAW传感器敏感区域的每个单元以及敏感区域外组件求取P矩阵元素，得到SAW传感器的每个单元的P矩阵；沿X方向将各个通道内敏感区域的N个单元P矩阵以及敏感区域外组件P矩阵级联，构成各通道导纳矩阵，然后沿Y方向利用通道间电端并联关系将各通道导纳矩阵组合为SAW传感器整体导纳矩阵；根据网络参量转换关系将器件SAW传感器整体导纳矩阵转换为散射矩阵；根据散射矩阵计算器件插入损耗，由此绘制表征传感性能的器件频率响应曲线。