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公开/公告号CN100401449C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN03808121.0
发明设计人 阿德里安·默雷尔;伯纳德·哈里森;彼得·爱德华兹;彼得·金德斯利;逆濑卓郎;马文·法利;佐藤修;杰弗里·吕丁;
申请日2003-03-21
分类号
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人柳春雷
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:00:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-07-09
授权
2005-09-21
实质审查的生效
2005-07-27
公开
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