公开/公告号CN106783578B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201611242713.4
申请日2016-12-28
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 11:10:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-25
授权
授权
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/306 申请日:20161228
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
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机译: 砷化镓基质的制备方法,砷化镓基质及其使用以及表征砷化镓基质表面性质的方法
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