光波导干涉仪和用于制造光波导干涉仪的方法

摘要

本发明涉及光波导干涉仪和用于制造光波导干涉仪的方法。光波导干涉仪包括第一光学部、第二光学部以及一组光波导，所述一组光波导被构造为连接第一光学部和第二光学部，以使得在第一光学部和第二光学部之间传播的光通过该组中的每个光波导，其中，该组光波导包括具有第一长度和第一宽度的第一光波导以及具有第二长度和第二宽度的第二光波导，其中，第二长度大于第一长度，第二宽度大于第一宽度。