公开/公告号CN100394551C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 东曹精细化工株式会社;
申请/专利号CN200410064002.3
申请日2004-07-08
分类号H01L21/205(20060101);C23C16/18(20060101);C23C16/44(20060101);C30B35/00(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人张天安;杨松龄
地址 日本山口县周南市
入库时间 2022-08-23 09:00:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-06-11
授权
授权
2006-08-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-02-09
公开
公开
机译: 固体有机金属化合物填充容器及其填充方法
机译: 固体有机金属化合物的填充方法和填充容器
机译: 固体有机金属化合物的填充容器及其填充方法