开关电容器DC-DC转换器及其制造方法

摘要

一种开关电容器DC‑DC转换器包括逻辑单元和与逻辑单元垂直交叠的电容器单元。逻辑单元具有设置在第一衬底之上的多个有源元件。电容器单元具有在第二衬底之上的电容器。设置在第一衬底之上的第一层间绝缘层接合至设置在第二衬底之上的第二层间绝缘层。连接至逻辑单元的互连图案中的任意一个的第一通道与连接至电容器单元的下电极图案的第二通道经由第一外部电路图案彼此连接。连接至电容器单元的上电极图案的第三通道与连接至逻辑单元的互连图案中的另一个的第四通道经由第二外部电路图案彼此连接。