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一种基于拉链式光子晶体微纳腔的高精度光力式加速度计

摘要

本发明公开了一种基于拉链式光子晶体微腔的高精度光力式加速度计,包括:布置于加速度计结构的左右两侧的激光入射及接收结构、位于加速度计中部的硅微机械结构、以及位于硅微机械结构底部的布置有电极的玻璃基底结构。激光入射结构布置在主体硅微结构的左侧入射凹槽处,接收结构布置在在主体硅微结构的右侧出射凹槽处。本发明采用光学信号作为微加速计的测量信号,具有较高的灵敏度和较低的不确定度,从而极大提高了微加速度计的检测极限能力,大大提高了检测灵敏度。由于采用了拉链式光子晶体微腔,比目前较普遍的平面平行谐振微纳腔的性能更加稳定,具备更高的光学精度,从而获得更高的加速度灵敏度。

著录项

  • 公开/公告号CN109946480B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN201910166559.4

  • 发明设计人 杨波;严宏宇;郭鑫;

    申请日2019-03-06

  • 分类号

  • 代理机构南京众联专利代理有限公司;

  • 代理人叶涓涓

  • 地址 211189 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

  • 入库时间 2022-08-23 11:09:30

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-14

    授权

    授权

  • 2019-07-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/093 申请日:20190306

    实质审查的生效

  • 2019-06-28

    公开

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