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多样化产品的照相制作过程误差校正方法

摘要

一种多样化产品的曝光偏移与黄光尺寸损失的误差的校正方法。先针对主产品或次要杂项产品决定一适用的黄光反馈系统,接着分别对主产品或次要杂项产品提供不同的基准点与补偿差距值,最后进行黄光反馈系统参数值的计算。其中,将使用于次要杂项产品的黄光反馈系统的基准点与补偿差距值设计为与主产品相关联。

著录项

  • 公开/公告号CN100390667C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-05-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 茂德科技股份有限公司;

    申请/专利号CN200310120208.9

  • 发明设计人 王智明;

    申请日2003-12-09

  • 分类号

  • 代理机构北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人黄小临

  • 地址 台湾省新竹科学工业园

  • 入库时间 2022-08-23 09:00:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2008-05-28

    授权

    授权

  • 2005-08-17

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-06-15

    公开

    公开

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