公开/公告号CN105575864B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-07
原文格式PDF
申请/专利权人 辛古勒斯技术股份公司;
申请/专利号CN201510915769.0
申请日2015-11-03
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人佘鹏
地址 德国美因河畔卡尔
入库时间 2022-08-23 11:08:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
授权
授权
2017-12-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20151103
实质审查的生效
2016-05-11
公开
公开
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