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用于在涂覆系统中将基体串联在一起的方法和装置

摘要

本发明提供了用于在涂覆系统中将基体串联在一起的方法和装置,其用于在传输系统中、优选为在涂覆系统中将物体串联在一起,用于调整两个物体之间的距离,所述两个物体优选为基体或基体保持器,被布置成一个在另一个之后,其中,前方物体在所述传输系统中以处理速度v

著录项

  • 公开/公告号CN105575864B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 辛古勒斯技术股份公司;

    申请/专利号CN201510915769.0

  • 发明设计人 W·贝克;E·吕特;J·海林布伦纳;

    申请日2015-11-03

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人佘鹏

  • 地址 德国美因河畔卡尔

  • 入库时间 2022-08-23 11:08:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-07

    授权

    授权

  • 2017-12-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20151103

    实质审查的生效

  • 2016-05-11

    公开

    公开

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