基于蓝宝石基底的独立型3ω热物性测量装置和方法

摘要

本公开提供了一种基于蓝宝石基底的独立型3ω热物性测量装置和方法。该独立型3ω热物性测量装置包括：腔体端盖，其具有向一侧突出的中空凸台，整体呈凸字形，中空凸台的端部开设凹槽；真空腔体，固定于腔体端盖的另一侧，真空腔体的腔体壁上开设抽真空连接孔；以及蓝宝石基底探测器，设置于腔体端盖的凹槽上，包括：蓝宝石基底：以及金属探测器，形成于基底上朝向真空腔体内部的一侧，金属探测器通过其上的引线端连接至一谐波测量单元。本公开使用蓝宝石基底探测器，采用单侧测量方式，提高了测量精度和检测速率，减少了所需的待测样品量，提高了测量装置的耐用性。