石英晶体板厚度剪切谐振压力传感器

摘要

一种石英晶体板厚度剪切谐振压力传感器，包括石英晶体板、辅助金属板和固定二板并承受环境压力的端部板。在连接端部板与石英晶体板和辅助金属板之间的交界面用强力胶粘连，并用四个螺栓将它们栓在一起，将整个板结构固定在两个支座上，使当端部板上表面受到环境压力作用时，位于两个支座间的组合石英晶体—辅助金属板结构处于纯弯状态。石英晶体板的上、下两表面均镀有薄层银电极，石英晶体板和端部板的长度为10-40毫米，石英晶体板厚度约1毫米，在石英晶体板与辅助金属板之间有微空隙。这种压力传感器灵敏度高，温度稳定性优良。