一种基于真空环境改善制孔质量的激光打孔装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于真空环境改善制孔质量的激光打孔装置及方法，涉及激光打孔领域，包括电源及控制器、x‑y移动平台、真空舱外接辅助平台、支撑底座、真空舱、高强度高透玻璃、激光头、CCD摄像机、激光器、导光管、z方向移动装置、移动夹具装置、软管接口、软管、气阀、气压表、真空泵、固定管道；根据真空环境可以减少激光打孔光致等离子的产生和真空环境中无氧化氮化反应这一原理，通过在真空环境下激光打孔，减小制孔的锥度，抑制重铸层和减少微裂纹，改善微孔内壁质量，提高基材使用寿命，同时增强深孔加工能力。