用于在检查对象时自适应采样的方法和其系统

摘要

检查对象，包括：接收潜在缺陷，每个潜在缺陷与位置相关联；执行潜在缺陷的第一聚类以获得第一子集和第二子集，聚类被执行以使得第一子集中的潜在缺陷在物理区域中比第二子集中的潜在缺陷更加密集；将第一有效概率自动分配给第一子集和第二子集中的潜在缺陷；根据第三方针并且根据用于组合来自所述合并列表的最高元素和随机选择元素的策略来进行选择以审查来自第一子集和第二子集的潜在缺陷；在审查审查的潜在缺陷之后，接收对潜在缺陷列表的部分中的潜在缺陷的指示；根据所述第一子集和第二子集中的项的有效性和分类来更新所述方针；以及利用所更新的方针重复所述分配、选择、接收和更新，直至观察到停止标准。