一种基于趋肤效应的样品表面覆膜无损检测方法及系统

摘要

本发明涉及一种基于趋肤效应的样品表面覆膜的无损检测方法及系统，包括采用频率可变的交流信号作用于待测样品的两端；逐渐增加交流信号的频率，检测不同频率的交流信号对应的待测样品两端的电阻或电压，并进行曲线绘制获取待测样品的电阻‑频率曲线或电压‑频率曲线；分析待测样品的电阻变化量或待测样品两端电压变化量随频率变化的规律，并计算或标样对比得到待测样品覆膜的厚度。本发明的基于趋肤效应的样品表面覆膜的无损检测方法及系统，可对待测样品进行整体测量，检测灵敏度较高，并且可实现自动化测量，检测效率较高。另外，由于趋肤效应，高频时材料表面的缺陷对高频信号更敏感，通过改变交流信号的频率还可以获取镀膜表面缺陷及裂纹深度分布信息。