一种耐腐蚀且导电性强的电极用复合涂层的制备方法

摘要

一种耐腐蚀且导电性强的电极用复合涂层的制备方法，电极为Cu合金电极，复合涂层包括依次镀在Cu合金电极表面的Ti薄膜和亚氧化钛涂层薄膜，具体步骤如下：取Cu合金电极，进行脱氧、去杂处理；按98：2~99：1的重量比称取亚氧化钛粉和Ti粉，混合后放入烧结炉中烧结成复合陶瓷块，制得复合靶材；使用磁控溅射镀膜机在Cu合金电极的表面镀Ti薄膜，Ti薄膜的厚度为40~100nm；使用磁控溅射镀膜机在Ti薄膜表面镀亚氧化钛薄膜，亚氧化钛薄膜的厚度为2~5μm；本发明通过在Cu合金材料表面涂覆Ti涂层及亚氧化钛涂层，增强了Cu合金电极的使用寿命，降低了材料的成本，使得电极材料具有较强的耐腐蚀性能及导电性能。