基于硅基波导亚波长光栅和多模干涉原理的十字交叉波导

摘要

本发明公开了一种基于硅基波导亚波长光栅和多模干涉原理的十字交叉波导，该十字交叉波导设置于包层绝缘体上，其材质为硅，包括：四个单模波导、四个亚波长光栅以及中心交叉多模波导，其中，两个单模波导对称地设置于中心交叉多模波导的左右两侧，另两个单模波导对称地设置于中心交叉多模波导的前后两侧，两个单模波导的中心的连线与另两个单模波导的中心的连线垂直，中心交叉多模波导与四个单模波导之间均设置有亚波长光栅，亚波长光栅中的光栅条纹的排列方向与在对应的单模波导中传输的光波的传播方向相同。该十字交叉波导偏振不敏感，可以实现较小的尺寸以及更高的集成度，同时，加工难度和加工成本均较低。