磁头滑动件的制造方法、磁头滑动件和磁盘装置

摘要

一种磁头滑动件(5)的制造方法能够在滑动件主体上至少执行三次铣削工序，从而形成一个浮动表面，这样就可以形成比铣削工序的数量还多的深度。这三次铣削工序例如可包括：第一铣削工序，该工序在滑动件主体(50)上形成一个第一掩膜并以第一深度执行铣削操作；第二铣削工序，该工序在第一铣削工序之后将第一掩膜更换为第二铣削并以第二深度执行铣削操作；第三铣削工序，该工序在第二铣削工序之后将第二掩膜更换为第三掩膜并以第三深度执行铣削操作。就是说，遮挡操作、铣削操作和掩膜拆除操作的循环要执行三个周期，这样，就可以很容易地加工出具有至少四种或更多种高度的铣削表面。