一种激光三维内雕加工能量动态补偿系统及其操作方法

摘要

本发明公开了一种激光三维内雕加工能量动态补偿系统及其操作方法。系统包括中性密度衰减方片、与之匹配的衰减片夹持装具、单轴向步进电机、激光系统、二向色镜、长工作距离聚焦物镜、透明样品、用于放置所述透明样品的透明样品加工模具、用于固定所述透明样品加工模具的三维位移台、计算机和电机控制箱；激光系统发出激光光束，其透射过中性密度衰减方片后，经二向色镜被反射导入长工作距离聚焦物镜之中进行聚焦，对透明样品进行加工。计算机根据三维位移台的运动速度和已位移时间计算出单轴向步进电机的实时位移速度，实时反馈到电机控制箱，实现对单轴向步进电机和三维位移台的速度控制。进而使得激光在表面和内部加工时的刻蚀尺度保持一致。