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光信息记录介质用母盘的制造方法、该母盘的圆盘

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一种光信息记录介质用母盘的制造方法，包括：通过曝光使具有蚀刻层(102)以及形成在蚀刻层(102)上的光致抗蚀剂层(103)的原盘的光致抗蚀剂层(103)的特定部分(104)的结晶状态发生变化的工序；去除特定部分(104)的工序；去除与在光致抗蚀剂层(103)的去除部分重叠的部分蚀刻层(102)的工序；去除光致抗蚀剂层(103)，形成导电膜(105)的工序；以导电膜(105)作为电极进行电铸的工序；从导电膜(105)剥离蚀刻层(102)的工序。

著录项

公开/公告号CN100390886C

专利类型发明授权
公开/公告日2008-05-28

原文格式PDF
申请/专利权人松下电器产业株式会社;
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申请/专利号CN200410068340.4
发明设计人富山盛央;伊藤英一;川口优子;
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申请日2004-08-31
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汪惠民
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:00:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-10-30

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 7/26 授权公告日:20080528 终止日期:20120831 申请日:20040831

专利权的终止
2008-05-28

授权

授权
2006-06-28

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-03-09

公开

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