法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
授权
授权
2018-09-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01F1/66 申请日:20180208
实质审查的生效
2018-08-17
公开
公开
机译: 用于光电设备的板单元,一种光电设备,一种用于制造该单元的方法,一种用于制造该设备的方法以及一种用于制造液晶设备的方法
机译: 光电检测单元,光电检测装置以及光电检测单元的制造方法
机译: 气体流量计的流速检测信号产生装置和/或气体流量计的流速检测装置和检测信号产生装置