高载微构件动态特性测试装置

摘要

本发明高载微构件动态特性测试装置，是属于微机电系统中动态测试装置领域。一种高载微构件动态特性测试装置，由高速转台、微结构激励、微结构夹持、光学振动测试装置、光纤旋转接头组成。高速转台的一端是转臂，另一端为轴套形状。真空室通过螺栓安装在高速转台的转臂上，光纤旋转接头安装在高速转台轴套中；隔振泡沫、减振质量、压电激振器、微构件、光纤探头夹持装置和光纤探测头均安装在真空室内。使用该发明可以测试常态、动态下结构的动态特性，便于分析研究。其结构简单、易于调试。扩充了仪器的功能，测试精度较高；可用它对微加速度传感器进行标定。