制造设备诊断辅助装置及制造设备诊断辅助方法

摘要

本发明的制造设备诊断辅助装置与数据收集装置连接，通过解析数据收集装置所记录的数据而对制造设备的诊断进行辅助，数据收集装置始终或间歇收集、记录设有至少两个以上的类似装置的制造设备中的各装置的运转数据。该制造设备诊断辅助装置具有：从数据收集装置所记录的数据中提取用于诊断的数据的功能；将所提取的数据按照类似装置的同类数据分组的功能；在组内对分组的数据运算用于进行诊断的特征量的功能；存储所运算的特征量的功能；将新运算的特征量和存储装置所存储的过往特征量以组为单位进行对比，基于其对比结果检测异常的功能。