单个纳米颗粒光散射电调控天线及制备、电调控的方法

摘要

本发明公开一种单个纳米颗粒光散射电调控天线及制备、电调控的方法，利用飞秒液相激光熔蚀单晶硅片制备出了尺寸不同的Si纳米颗粒，再利用无掩模光刻和聚焦离子束刻蚀结合，制备出叉指电极，然后通过Si纳米颗粒的自组装技术，将Si纳米颗粒搭载在两叉指电极中间，形成电调控天线，通过在两叉指电极两端施加电压，便可测得单个Si纳米颗粒光散射的变化。本发明制备方法能够简易快速地制备Si纳米颗粒并实现电调控天线的自组装，所制备的Si纳米颗粒电调控天线具有纳米尺度，集成多个单个Si纳米颗粒，采用该Si纳米颗粒电调控天线能对单个Si纳米颗粒光散射进行精确的调控，该调控方法能够引起光学响应的明显变化，调控幅度更大。