法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-26
授权
授权
2019-06-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H03K3/02 申请日:20181206
实质审查的生效
2019-05-21
公开
公开
机译: 用于在连续真空床环境中以高真空在纳秒内获得热的有限的无金属化条带的装置
机译: 有机脱水装置,包括真空照相机,微波发生器,透明的微波窗和在真空环境下吹气的装置;和有机脱水法(部门申请CL 398-10)。
机译: EUV-用于防止泄漏和EUV辐射发生装置的真空环境的装置和方法