一种基于PSD的激光干涉仪光路高效精确校准方法

摘要

本发明公开了一种基于PSD的激光干涉仪光路高效精确校准方法，首先建立系统光路，然后粗调整激光干涉仪光路，最后根据PSD二维光敏位置传感器获取各校准点的坐标值并计算测量光相对于参考反射光的偏移量，并根据偏移量对激光干涉仪光路进行精确调整。本发明通过PSD二维光敏位置传感器中测量的坐标实现自动校准激光干涉仪光路，本发明利用PSD二维光敏位置传感器获取校准光束的偏移量，从而间接的得到测量光的偏移量，可以实现自动调节光路，从而实现高精度的光路校准，提高了校准的效率和精度，具有较好的实用性。