一种磁控定向快速移动的微纳米机器人的制备方法

摘要

本发明涉及一种磁控定向快速移动的微纳米机器人的制备方法，其制备包括以下步骤：模板表面清洗；模板与电极相连接：使用磁控溅射仪在导电层金属Cu薄片的两面以及两个模板PCT的各自的一面溅射一层纳米银，然后将获得的导电层金属Cu薄片和两个模板放在一个载玻片上，最下层为其中一个模板，中间为导电层金属Cu薄片，上层为另一个模板，调整位置使两个模板正对，然后压盖另一个载玻片，使三者紧密接触，放到高温箱中进行加热，使溅射的纳米银熔化能够粘连模板与导电层金属；一段时间后关闭高温箱，待样品冷却后取出；电化学沉积纳米线阵列；模板的去除；激光切割样品。