用于通过改变在束脉冲之内的工作参数在工件中产生小孔的方法

摘要

本发明涉及一种用于在工件(22)中产生特别是锥形的孔洞(48)的方法，在其中可通过以下方式影响孔洞(48)的轮廓和横截面，即，改变一个或多个工作参数，所述工作参数从以下参数组中选择：脉冲长度、束直径、束电流、加速电压、束聚焦、电子束(12)与束轴线(18)的相对位置、电子束(12)在工件(22)上的运动速度。