用于软脆超薄晶体超精密切削的主动变形补偿装夹装置

摘要

本发明涉及一种用于软脆超薄晶体超精密切削的主动变形补偿装夹装置，属于闪烁晶体超精密加工领域。该装置能够主动补偿传统真空吸盘吸附软脆超薄碘化铯晶体时难以避免的吸附变形，以实现吸附变形误差的确定性主动补偿，为加工中降低晶体的厚度，并保持晶体各点厚度一致性提供技术支持。本发明首先基于静态变形原理，通过分析紧支撑条件下双层矩形压电薄板影响函数的解析表达式，建立反映加载电压与变形量之间关系的影响函数，而后在干涉仪等高精度面形检测装置辅助下实现对真空吸附变形的离线检测，最后通过改变各压电陶瓷电极的激发电压主动改变玻璃薄板层的形状，对真空吸附变形进行主动变形补偿，改善超薄碘化铯晶体的超精密切削加工精度。