一种实现相邻晶圆对转的腐蚀装置及腐蚀方法

摘要

本发明公开一种实现相邻晶圆对转的腐蚀装置及腐蚀方法。该装置包括载具、机械手、腐蚀工艺槽和混酸槽；载具包括两组侧板和固定支撑两块侧板之间的固定杆；两组侧板上分别安装有载具中心驱动轴、载具中心驱动齿轮、载具驱动齿轮、载具反向驱动齿轮。载具固定套安装在载具中心驱动轴上；两组侧板之间安装有四组共八根有齿转杆；机械手具有与载具两侧的固定套锁紧的载具锁紧部，还包括械臂传动齿轮组、载具驱动电机和两个载具传动齿轮组；腐蚀工艺槽的底部通过酸液循环进液管连接混酸槽，腐蚀工艺槽两侧设有溢流槽连接至混酸槽。采用该装置对晶圆进行酸腐蚀能消除腐蚀剂局部旋涡，降低腐蚀痕迹发生率，提高腐蚀片表面均匀性，改善腐蚀片表面平坦度。