一种基于新型计量光栅的位移测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于新型计量光栅的位移测量系统及方法，系统部分包括光源、聚光镜，锥形指示光栅，锥形标尺光栅，七个光敏元件、三个平均值模块、整形电路、细分变向模块、可逆计数模块和数字显示模块；本发明采用的光栅副中主光栅与指示光栅线均为锥形槽，即一般是用光学玻璃或不锈钢做基体，在其上均匀地刻划出间距、宽度相等的顶角为θ锥形条纹，形成连续的透光区和不透光区。将指示光栅与标尺光栅叠合在一起，两者的栅线保持平行即可，因此降低了光栅副的加工和装配难度，且提高了测量的精度。