纳米压痕典型区域微转动调平台

摘要

本发明公开了纳米压痕典型区域微转动调平台，将被测试样镶嵌于不锈耐磨的试样杯中，磨抛后使得被测试样上表面同试样杯上边缘同高，既保证了被测试样有较高刚度，在之后顶紧过程中不发生塑性变形，也可以快速获得高质量的平面；常规扭矩螺丝刀主要用于防止由于用力过大而破坏设备，用其顶紧顶丝后的试样在微纳米尺度的加载过程中不会发生错动，通过普通螺丝刀继续顶紧顶丝可以使得微区产生微尺度的转动而不会使得整个夹持结构松动；本发明通过机械调平方法实现，成本低廉、体积小，并同纳米压痕仪的卡台相配合，节省空间便与推广。