MEMS非制冷红外探测器热学参数测试电路及测试方法

摘要

本发明涉及红外探测器的热学参数的电学自测试领域，具体涉及一种MEMS非制冷红外探测器的热学参数测试电路及测试方法。所述MEMS非制冷红外探测器热学参数测试电路包括：MEMS非制冷红外探测器阵列，包括多行多列的红外敏感单元；阵列选通开关，用于依次轮流选通MEMS非制冷红外探测器阵列中的敏感单元，并输出所选中的敏感单元产生的电学信号给放大运算电路；放大运算电路，对电学信号的变化进行放大运算，并将放大运算结果输出给数据处理模块；电源模块，用于给阵列选通开关所选中的红外敏感单元供电；所述数据处理模块，根据所述放大运算电路的实际测试数据计算得到器件热容C、热响应时间τ、热导G、黑体响应率R